水平噴射點膠機
DTEK Boundary 300
. 搭配市佔率最高之Nordson Asymtek點膠閥
. 依照不同產品點膠區域和膠材特性搭配不同點膠閥體及點膠幫浦
. 實現客戶產品側面點膠需求功能
. 全自動視覺對位加調整晶圓中心；
. 全自動視覺對位並追蹤晶圓翹曲軌跡；
. 全自動點膠結果位置確認功能；
. 全自動點膠後客戶產品無塵布擦拭功能(溼擦、乾擦)；
. 全自動膠量確認功能；
. 全自動點膠閥清潔功能；
. 全自動點膠區域前/後視覺確認功能；
. 點膠平台預熱功能；
. 依照不同產品點膠區域和膠材特性搭配不同點膠閥體及點膠幫浦
. 實現客戶產品側面點膠需求功能
. 全自動視覺對位加調整晶圓中心；
. 全自動視覺對位並追蹤晶圓翹曲軌跡；
. 全自動點膠結果位置確認功能；
. 全自動點膠後客戶產品無塵布擦拭功能(溼擦、乾擦)；
. 全自動膠量確認功能；
. 全自動點膠閥清潔功能；
. 全自動點膠區域前/後視覺確認功能；
. 點膠平台預熱功能；
. Footprint (W)1100*(D)800*(H)1900 mm
. Weight 510 kg
. Dispenser Head - DJ-9500
. Mobile Vision Resolution 0.01 mm/ pixel
. FOV 14.1*10.3mm / Resolution 3.45 um Side view
. FOV 5.7x4.3mm / Resolution 2.2 um Top view
. Nozzle pre-heating Max. 100 ±5℃
. Chuck Pre-heating Max 120 ±3℃
. Trace scales Readability 0.01mg Linearity ≦± 0.02mg
. Aligner Centering ±0.06mm
. Linearity ≦± 0.02mg
. Weight 510 kg
. Dispenser Head - DJ-9500
. Mobile Vision Resolution 0.01 mm/ pixel
. FOV 14.1*10.3mm / Resolution 3.45 um Side view
. FOV 5.7x4.3mm / Resolution 2.2 um Top view
. Nozzle pre-heating Max. 100 ±5℃
. Chuck Pre-heating Max 120 ±3℃
. Trace scales Readability 0.01mg Linearity ≦± 0.02mg
. Aligner Centering ±0.06mm
. Linearity ≦± 0.02mg