水平喷射点胶机
DTEK Boundary 300
. 搭配市占率最高之Nordson Asymtek点胶阀
. 依照不同产品点胶区域和胶材特性搭配不同点胶阀体及点胶帮浦
. 实现客户产品侧面点胶需求功能
. 全自动视觉对位加调整晶圆中心；
. 全自动视觉对位并追踪晶圆翘曲轨迹；
. 全自动点胶结果位置确认功能；
. 全自动点胶后客户产品无尘布擦拭功能(湿擦、干擦)；
. 全自动胶量确认功能；
. 全自动点胶阀清洁功能；
. 全自动点胶区域前/后视觉确认功能；
. 点胶平台预热功能；
. 依照不同产品点胶区域和胶材特性搭配不同点胶阀体及点胶帮浦
. 实现客户产品侧面点胶需求功能
. 全自动视觉对位加调整晶圆中心；
. 全自动视觉对位并追踪晶圆翘曲轨迹；
. 全自动点胶结果位置确认功能；
. 全自动点胶后客户产品无尘布擦拭功能(湿擦、干擦)；
. 全自动胶量确认功能；
. 全自动点胶阀清洁功能；
. 全自动点胶区域前/后视觉确认功能；
. 点胶平台预热功能；
. Footprint (W)1100*(D)800*(H)1900 mm
. Weight 510 kg
. Dispenser Head - DJ-9500
. Mobile Vision Resolution 0.01 mm/ pixel
. FOV 14.1*10.3mm / Resolution 3.45 um Side view
. FOV 5.7x4.3mm / Resolution 2.2 um Top view
. Nozzle pre-heating Max. 100 ±5℃
. Chuck Pre-heating Max 120 ±3℃
. Trace scales Readability 0.01mg Linearity ≦± 0.02mg
. Aligner Centering ±0.06mm
. Linearity ≦± 0.02mg
. Weight 510 kg
. Dispenser Head - DJ-9500
. Mobile Vision Resolution 0.01 mm/ pixel
. FOV 14.1*10.3mm / Resolution 3.45 um Side view
. FOV 5.7x4.3mm / Resolution 2.2 um Top view
. Nozzle pre-heating Max. 100 ±5℃
. Chuck Pre-heating Max 120 ±3℃
. Trace scales Readability 0.01mg Linearity ≦± 0.02mg
. Aligner Centering ±0.06mm
. Linearity ≦± 0.02mg