3D SPI

RSC-7 镭射头
 • 业界最快的检测速度及最高的检测精准度
• 比对RSC-6，检测速度提升25~30%
• SIGMA X Orange : 100cm2/sec @ 10x10μm
• SIGMA X Blue : 60cm2/sec @ 10x10μm

基板传送序列最小化
 • 皮带传输速度 1,000mm/sec
 • 减速、停板排序最优化，减少了进出板时间
 • 检测同一基板，比HS60减少3~4秒

真实的3D影像
• 不受被检测对象的材质、表面及色泽影响，均可生成无杂讯的镭射光束剖面，通过运用几何中心演算法来提高精密度， 生成任何其他方式所无法比较的最精准最真实的3次元剖面图。

实时板弯追踪
 • PARMI拥有板弯及即时Z轴控制系统，可确保10mm(+/-5mm)的检测精准度。

双光源投射
 • 运用含双镭射光源投射技术及四百万像素的高解析CMOS镜头，可保障测试的精准度，各像素的高度剖面图构成了整个扫描范围的3D影像。